- 产品详情
| 品牌\厂家： | 其他 | 类型： | 型材 |
| 材质： | 钽 | 规格： | 可根据客户要求订做 |
| 产地： | 宝鸡 | 主要成分： | 钽 |
| 杂质含量： | 0.01(%) |
产品名称:钽溅射靶材
执行标准:B708-98
圆靶材规格:直径(25-400)mm 厚度(3-28)mm
方靶材规格:厚度(1-12.7)mm宽度(10-600)mm长度(200-2000)mm
公差:直径公差+/- 0.254
牌号:RO5200, RO5400, RO5252(Ta-2.5W), RO5255(Ta-10W)
纯度:≥99.9%
再结晶:少95%
晶粒度:小40μm
表面粗糙度:Ra 0.8
平整度:0.1mm or 0.10% .
成份:
牌号 | 主要成份 | 杂质含量 不大于% | |||||||||||
Ta | Nb | Fe | Si | Ni | W | Mo | Ti | Nb | O | C | H | N | |
Ta1 | 剩余 | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 0.01 | 0.01 | 0.002 | 0.04 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 | |
Ta2 | 剩余 | 0.03 | 0.02 | 0.005 | 0.04 | 0.03 | 0.005 | 0.1 | 0.03 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 | |
TaNb3 | 剩余 | <3.5 | 0.03 | 0.03 | 0.005 | 0.04 | 0.03 | 0.005 | 0.03 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 | |
TaNb20 | 剩余 | 17.0~23.0 | 0.03 | 0.03 | 0.005 | 0.04 | 0.03 | 0.005 | 0.03 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 | |
Ta2.5W | 剩余 | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 3.0 | 0.01 | 0.002 | 0.04 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 | |
Ta10W | 剩余 | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 11 | 0.01 | 0.002 | 0.04 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 | |
我司可提供质量优良的钽靶材。纯度为3N5到5N,晶粒度致密性好,使用性能稳定。
另我司有通过权威机构对靶材成分进行检测,均符合行业使用标准。对于靶材废料,我司也提供回收项目。
应用:钽靶主要应用于半导体和磁记录等薄膜溅射行业。
如有特殊要求,双方具体商定
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